Konfokaalsete mikroskoopide rakendused pooljuhtide tööstuses
Suuremahulise-pooljuhtide tootmise käigus tuleb vahvlile paigutada integraallülituse kiibid, seejärel jagada need erinevateks üksusteks ning lõpuks pakendada ja jootma. Seetõttu on vahvli lõikamise soone suuruse täpne juhtimine ja mõõtmine tootmisprotsessis ülioluline lüli.
VT6000 seeria konfokaalne mikroskoop on Zhongtu Instrumenti käivitatud mikroskoopiline kontrolliseade, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise ja pakendamise protsessides. See suudab teostada kontaktivaba-skannimist ja rekonstrueerida keeruka kuju ja järskude laserlõikussoontega pinnaelementide kolme-mõõtmelist morfoloogiat.
VT6000 seeria konfokaalmikroskoobil on suurepärane optiline eraldusvõime ja see suudab läbi selge pildisüsteemi üksikasjalikult jälgida vahvli pinna omadusi, näiteks jälgida, kas vahvli pinnal on defekte, nagu serva purunemine ja kriimustused. Elektritorn saab automaatselt lülituda erinevate objektiivi suurenduste vahel ning tarkvara jäädvustab automaatselt funktsioonide servad kiireks kahe-mõõtmeliseks mõõtmiseks, tuvastades seeläbi vahvli pinna tõhusamalt ja kontrollides selle kvaliteeti.
Vahvlite laserlõikamise protsessis on vaja täpset positsioneerimist, et tagada soonte lõikamine mööda õiget kontuuri vahvlile. Vahvlite segmenteerimise kvaliteeti mõõdetakse tavaliselt lõikesoonte sügavuse ja laiuse järgi. VT6000 seeria konfokaalmikroskoobil, mis põhineb konfokaalsel tehnoloogial ja on varustatud kiirete-skaneerimismoodulitega, on professionaalne analüüsitarkvara mitme ala ja automaatsete mõõtmisfunktsioonidega. See suudab kiiresti rekonstrueerida testitud vahvli lasersoonte kolme-mõõtmelise kontuuri ja teostada mitme profiili analüüsi, et saada teavet kanali sügavuse ja laiuse kohta ristlõike kohta.
