Kattekihi paksuse mõõturite klassifitseerimise ja mõõtmise põhimõtted
Tehnoloogia arenedes, eriti viimastel aastatel mikroarvutitehnoloogia kasutuselevõtuga, on magnet- ja pöörisvoolumeetodeid kasutavad paksusemõõturid teinud edasisi edusamme miniaturiseerimise, intelligentsuse, multifunktsionaalsuse, suure täpsuse ja praktilisuse suunas, mis puudutab katte paksuse mõõtjate klassifitseerimise ja mõõtmise põhimõtteid. Mõõtmise eraldusvõime on jõudnud 0,1 mikronini ja täpsus võib ulatuda 1% -ni, mis on oluliselt paranenud. Sellel on lai valik rakendusi, lai mõõtepiirkond, lihtne töö ja madal hind, mistõttu on see tööstuses ja teadusuuringutes laialdaselt kasutatav paksuse mõõtevahend. Mittepurustavate meetodite kasutamine ei kahjusta katet ega aluspinda ning sellel on kiire tuvastamiskiirus, mis võimaldab ökonoomselt läbi viia suure hulga testimistöid.
Katte paksuse mõõtmisest on saanud töötleva tööstuse ja pinnatehnilise kvaliteedikontrolli oluline osa ning see on vajalik vahend toodete jaoks suurepäraste kvaliteedistandardite saavutamiseks. Meie toodete rahvusvahelistumiseks on Hiina eksporditavates kaupades ja välismaistes -seotud projektides katte paksusele kehtestatud selged nõuded.
Katte paksuse peamised mõõtmismeetodid hõlmavad kiilulõikemeetodit, valguslõikemeetodit, elektrolüüsimeetodit, paksuse erinevuse mõõtmise meetodit, kaalumismeetodit, röntgenfluorestsentsi meetodit, beetakiirte tagasihajumise meetodit, mahtuvusmeetodit, magnetmõõtmismeetodit ja pöörisvoolu mõõtmise meetodit. Esimesed viis neist meetoditest on kadude tuvastamine, millel on tülikad mõõtmismeetodid, aeglane kiirus ja mis sobivad enamasti proovide kontrollimiseks.
Röntgen- ja beetakiirte meetodid on mitte-kontakti mittepurustavad mõõtmised, kuid seadmed on keerulised ja kallid ning mõõtmisulatus väike. Radioaktiivsete allikate olemasolu tõttu peavad kasutajad järgima kiirguskaitse eeskirju. Röntgenikiirguse meetodiga saab mõõta üliõhukesi katteid, topeltkatteid ja sulamikatteid. Beetakiirte meetod sobib katete ja substraatide mõõtmiseks, mille aatomnumber on suurem kui 3. Mahtuvusmeetodit kasutatakse ainult õhukeste juhtmete isolatsioonikatete paksuse mõõtmiseks.
Kattekihi paksuse mõõtmise põhimõtted ja vahendid: kattekihi paksuse mõõturi klassifitseerimise ja mõõtmise põhimõtted
