Miks annab katte paksuse mõõtur mõõtmise ajal ebatäpseid andmeid?
Mõõtmiseks kattekihi paksuse mõõturi kasutamisel on soovitav nullreguleerimise alusena kasutada mõõdetavat materjali, et vältida erinevatest materjalidest põhjustatud mõõtmisvigu, mis põhjustavad erinevat magnetjuhtivust. Oodake, kuni testitava materjali sama osa on nullitud, ja seejärel teostage sama osa mõõtmised, näiteks nullige eraldi külgmise tooriku servast ja keskelt.
Katte paksuse mõõturi kasutamisel tuleb tähelepanu pöörata ka sondi ja mõõdetud materjali pinna risti hoidmisele, et vältida olulisi vigu. Kui mõõtmine toimub samas punktis, saab sondi iga kord vähemalt 10 sentimeetrit eemale nihutada ning mõõtmist teostada mõne sekundi pärast, et vältida mõõdetava materjali magnetiseerumist ja mõõtmistulemuste mõjutamist.
Nulli reguleerimiseks kasutatava katte paksuse mõõturi välispind tuleb hoida võimalikult sile. Kui välispind ei ole sile, tuleks sõltuvalt olukorrast võtta keskmine väärtus, kuna välispinna karedus mõjutab oluliselt mõõdetud väärtusi. Erinevaid struktuure tuleks mõõta eraldi nullreguleerimisega. Tasapind tuleks külgpinnal nulli viia ja nõgusat pinda tuleks mõõta pärast nulli reguleerimist. Kumerat pinda tuleks mõõta pärast nullreguleerimist, et vältida erinevatest struktuuridest tulenevaid mõõtmisvigu.
Katte paksuse mõõtja temperatuuri kompensatsiooni mõõtmise meetod
Katte paksuse mõõturi temperatuurikompensatsiooni mõõtmise meetod hõlmab temperatuurikoefitsiendi kalibreerimise etappi, käivitamise nullkalibreerimise etappi ja paksuse mõõtmise tööetappi ning lõpuks arvutab tegeliku katte paksuse dx väärtuse; Kasutatakse korrelatsiooni induktiivpooli elektromagnetvälja muutuste ja temperatuuri vahel, see tähendab, et mõõta üks kord mõõtmisprotsessi jooksul väärtust lõpmatus. Temperatuurimuutuste koefitsient lõpmatus on võrdeline temperatuurimuutuste koefitsiendiga, kui mõõtesond on mõõdetava objekti substraadi lähedal. Kasutades seda funktsiooni temperatuuri kompenseerimiseks, saab temperatuuri mõõtmise vigu oluliselt vähendada. Selle meetodi mõõtmisviga saab põhimõtteliselt kontrollida 1% piires, samas kui meie riiklik standard nõuab praegu, et see jääks 3% piiresse. Läbi võrdluse on selle meetodi mõõtmistäpsus jõudnud rahvusvaheliste kaubamärkide masinate mõõtmistäpsuseni, mis on Hiinas endiselt väga kõrgel tasemel.
