Kiire pooljuhtkontroll, kasutades erinevaid mikroskoobi vaatlusmeetodeid
Toovitatud vahvlite ja integreeritud vooluahelate (IC) pooljuhtide kontroll tootmisprotsessi ajal on defektide tuvastamiseks ja vähendamiseks ülioluline. Kvaliteedikontrolli efektiivsuse parandamiseks varajases tootmisetapis ja integreeritud vooluahela kiipide usaldusväärse jõudluse tagamiseks tuleks mikroskoobilahendusi kombineerida erinevate vaatlusmeetoditega, et saada täielikku ja täpset teavet erinevate puuduste kohta. Siin tutvustatud vaatlusmeetodite hulka kuuluvad ere väli, tume väli, polarisatsioon DIC, ultraviolett, kaldus valgustus ja infrapuna. Need on integreeritud vahvlite ja integreeritud vooluringide tuvastamiseks ja arendamiseks mikroskoopidesse.
Kuidas on pooljuhtide töötleva tööstuse jaoks kasu mikroskoopidest
Mikroskoobilahendused mängivad olulist rolli tõhusas ja usaldusväärses tuvastamisel, kvaliteedikontrollis (QC), rikkeanalüüsi (FA) ning teadus- ja arendustegevuses (R&D) pooljuhtide töötlevas tööstuses.
Pooljuhtide tootmisprotsessis võivad erinevatel sammudel esineda erinevat tüüpi puudusi, mis võivad mõjutada seadme normaalset toimimist. Mida varem need puudused avastatakse, seda parem. Neid defekte võivad põhjustada juhuslikult jaotunud tolmuosakesed vahvlil (juhuslikud defektid) või kriimustused, irdumine ja kattekihtide ja fotoresistide jääk, mis on põhjustatud töötlemistingimustest (näiteks söövitamise ajal), ja see võib esineda vahvli konkreetsetes piirkondades. Väikese suuruse tõttu on mikroskoobid selliste defektide tuvastamiseks eelistatud tööriist.
Eriti võrreldes aeglasemate ja kallimate mikroskoopidega, näiteks elektronmikroskoopidega (EM), on optilistel mikroskoopidel (OM) palju eeliseid. Selle mitmekülgsuse ja kasutusmugavuse tõttu kasutatakse optilisi mikroskoope tavaliselt paljaste vahvlite ja söövitatud/töötletud vahvlite defektide kvalitatiivsete ja kvantitatiivsete uuringute jaoks, samuti integreeritud vooluringide (IC) (ICS) monteerimis- ja pakendamisprotsessides.
Erinevad optilised mikroskoopia vaatlusmeetodid, näiteks hele väli (BF), tume väli (DF), diferentsiaalhäirete kontrastsus (DIC), polarisatsioon (Pol), ultraviolettkiirguse (UV), kaldus valgustus ja infrapuna (IR) edastatud valgust [{0 {0}}], on kiire ja täpse defekti defektide jaoks ülesed.
