Tutvustame automaatset aatomijõumikroskoopi, nagu ei kunagi varem
Park Systemsi automaatne aatomjõumikroskoobi süsteem NX-3DM on spetsiaalselt loodud üleulatuva kontuuri, kõrge eraldusvõimega külgseina pildistamiseks ja kriitilise nurga mõõtmiseks. Unikaalse XY- ja Z-teljega sõltumatu skaneerimissüsteemi ja kallutatava Z-telje skanneriga saab NX{5}}DM külgseina täpse analüüsi käigus edukalt üle tavaliste ja laienevate peadega seotud väljakutsetest. Režiimis True Non-Contact™ võimaldab NX-3DM pehmete fotoresistide mittepurustavat mõõtmist kõrge kuvasuhtega otstega.
enneolematu täpsus
Kuna pooljuhid muutuvad väiksemaks, peavad disainilahendused nüüd olema nanomõõtmelised, kuid traditsioonilised mõõtmisvahendid ei suuda tagada nanomõõtmelise projekteerimise ja tootmise jaoks vajalikku täpsust. Selle tööstusharu mõõtmise väljakutsega silmitsi seistes on Park AFM teinud palju tehnoloogilisi läbimurdeid, nagu näiteks läbirääkimiste kõrvaldamine, mis võimaldab saavutada artefaktivaba ja mittepurustava pildistamise; uus 3D AFM teeb võimalikuks külgseina ja läbilõike funktsioonide kõrge eraldusvõimega pildistamise.
enneolematu läbilaskevõime
Madala läbilaskevõime piirangu tõttu ei saa nanomõõtmelist disaini tootmise kvaliteedikontrollis kasutada, kuid aatomjõumikroskoopia võimaldab seda. Park Systemsi välja antud suure läbilaskevõimega lahendusega on aatomjõumikroskoopia jõudnud ka automatiseeritud veebitootmise valdkonda. See hõlmab uuenduslikku magnetsondi asendusfunktsiooni, mille edukus on 99 protsenti, mis on kõrgem kui tavalisel vaakumtehnoloogial. Lisaks eeldab protsesside ja läbilaskevõime optimeerimine klientide aktiivset koostööd täielike algandmete esitamiseks.
Enneolematu kuluefektiivsus
Nanomõõtmeliste mõõtmiste täpsus ja suur läbilaskevõime tuleb siduda kulutõhusate lahendustega, et ulatuda teadusuuringutest reaalsete tootmisrakendusteni. Selle kuluprobleemiga silmitsi seistes on Park Systems toonud tööstusliku kvaliteediga aatomjõumikroskoobi lahenduse, et muuta automatiseeritud mõõtmised kiiremaks ja tõhusamaks ning muuta sondid vastupidavamaks! Oleme loobunud aeglasest ja kallist skaneerivast elektronmikroskoobist ning läinud üle tõhusale, automatiseeritud ja taskukohasele 3D-aatomjõumikroskoobile, et veelgi vähendada veebipõhise tööstusliku tootmise mõõtmiskulusid. Tänapäeval vajavad tootjad 3D-teavet kraaviprofiilide ja külgseinte variatsioonide iseloomustamiseks, et tuvastada täpselt uute konstruktsioonide defektid. Modulaarne AFM-platvorm võimaldab kiiret riistvara ja tarkvara väljavahetamist, muutes uuendused kuluefektiivsemaks ning optimeerides pidevalt keerukaid ja nõudlikke tootmiskvaliteedi kontrolli mõõtmisi. Lisaks kestavad meie AFM-sondid vähemalt 2 korda kauem, vähendades seeläbi omamiskulusid veelgi. Traditsioonilised AFM-id kasutavad koputamist, mis muudab otsa kulumise ja rebenemise kergemaks, kuid meie True Non-Contact™ režiim võib otsikut tõhusalt kaitsta ja selle eluiga pikendada.
