Kattekihi paksuse mõõtja temperatuuri kompensatsiooni mõõtmise meetod
Katte paksuse mõõturi temperatuurikompensatsiooni mõõtmise meetod sisaldab temperatuurikoefitsiendi kalibreerimise, sisselülitatud nullkalibreerimise ja paksuse mõõtmise etappe ning lõpuks arvutab katte tegeliku paksuse dx väärtuse; kasutades korrelatsiooni induktiivpooli elektromagnetvälja muutuse ja temperatuuri vahel, see tähendab, et väärtust lõpmatuse otsas mõõdetakse üks kord mõõtmisprotsessi jooksul ja temperatuurimuutuste koefitsient lõpmatuse otsas on võrdeline temperatuurimuutuste koefitsiendiga. kui mõõtesond on mõõtmiseks mõõdetava objekti substraadi lähedal. Selle omaduse kasutamine temperatuuri kompenseerimiseks võib temperatuuri mõõtmise viga võimalikult palju vähendada. Selle meetodi mõõtmisviga saab põhimõtteliselt kontrollida 1 protsendi piires, samas kui meie praegune riiklik standard nõuab 3 protsendi piires. Võrdluseks, selle meetodi mõõtmisviga saab kontrollida 1 protsendi piires. Mõõtmistäpsus on jõudnud rahvusvaheliste kaubamärkide masinate mõõtmistäpsuseni ja Hiinas on see endiselt väga kõrgel tasemel.
