Analüüs optilise mikroskoopia (OM) abil
Tehnilised põhimõtted
Optilise mikroskoobi pildistamise põhimõte seisneb selles, et katsekeha pinna valgustamiseks kasutatakse nähtavat valgust, et tekitada lokaalne hajumine või peegeldus erinevate kontrastide moodustamiseks. Kuna aga nähtava valguse lainepikkus on sama kõrge kui {{0}} angströmit, on süsteemi eraldusvõime (või eristuskiirus, eraldusvõime energia) viitab lühimale kaugusele, mida saab eristada kahte punkti, see on loomulikult kõige hullem. Tavalise töö korral, kuna palja silma eristamismäär on vaid 0,2 mm, kui optilise mikroskoobi optimaalne eraldusvõime on vaid 0,2 um, on teoreetiline maksimaalne suurendus ainult 1000. See on suurim pildistamissüsteem, mis näitab, et optiliste mikroskoopidega tehtud vaatlused võivad tegelikult siiski anda palju esialgset struktuuriteavet.
Masina tüüp
Analüütilised rakendused
Kuigi optiliste mikroskoopide suurendus ja eraldusvõime ei vasta paljude materjalide pinnavaatluse vajadustele, kasutatakse neid siiski laialdaselt järgmistes rakendustes, näiteks:
Komponentide ristlõike struktuuri jälgimine;
Tasapinnaline viivitatud struktuuri analüüs ja vaatlus;
Sademevaba tsooni vaatlus;
Halva joonduse ja ülesöövitamise (Overetch) mõlkide jälgimine;
Oxidation Enhanced Stacking Faults (OSF) jne uurimine.
Kui suur on optilise mikroskoobi maksimaalne suurendus?
Optilise mikroskoobi suurendus põhineb peamiselt objektiivil, et tegelikult suurendada objekti, ja okulaaril, et suurendada objektiiviga suurendatud kujutist. Optilise mikroskoobi objektiivi lääts võib minna kuni 100 korda ja okulaar ainult kuni 10 korda.
16 korda
Maksimaalne okulaari suurus on 20x. Seega, kui objektiiv on 100-kordne ja okulaar on 20-kordne, võib kogusuurendus ulatuda 2000-kordseks. Kuid 2000 korda on ainult numbriline 2000 korda, mitte tõeline 2000-kordne suurendus. Näiteks kui okulaar on 10x, on objektiivi lääts 100x ja kogusuurendus 1000x, kuna tegelik suurendusega objektiiv on endiselt 100x, kuid okulaar muudetakse 10x 20x. Näeb välja 2000 korda
1000 korda, kahekordne vahe, aga tegelikult on see vahe vaid 10 korda.
